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      晶體硅太陽(yáng)能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解

      2010-06-12 08:53 來(lái)源:應用材料公司 責編:Victoria

      摘要:
      。這一技術(shù)采用了新型的高分辨率照相機和新的軟件算法,具有自動(dòng)調整程序,并可以在印刷初始階段進(jìn)行額外控制。此外,漿料配方和絲網(wǎng)設計必須經(jīng)過(guò)仔細的共同優(yōu)化,從而最大限度地實(shí)現絲網(wǎng)印刷的硬件和工藝效能。
        【CPP114】訊:生產(chǎn)晶體硅太陽(yáng)能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細的電路,將光生電子導出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來(lái)完成——將含有金屬的導電漿料透過(guò)絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太陽(yáng)能電池從頭到尾整個(gè)生產(chǎn)工藝流程中需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。通常,有兩種不同的工藝分別用于電池正面(接觸線(xiàn)和母線(xiàn))和背面(電極/鈍化和母線(xiàn))的絲網(wǎng)印刷!颈1】

      表1:晶體硅太陽(yáng)能電池的制造需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。應用材料公司Baccini產(chǎn)品可以幫助實(shí)現綠色框中的步驟。

        多年來(lái),太陽(yáng)能絲網(wǎng)印刷設備在精度和自動(dòng)化方面有了很大進(jìn)步,具備了在微米級尺寸上重復進(jìn)行多次印刷的能力。這一發(fā)展開(kāi)創(chuàng )了全新的先進(jìn)應用,如雙重印刷和選擇性發(fā)射極金屬鍍膜。Baccini公司在20世紀70年代在微電子領(lǐng)域開(kāi)發(fā)了絲網(wǎng)印刷技術(shù),并在20世紀80年代將這一技術(shù)擴展到太陽(yáng)能金屬鍍膜領(lǐng)域。今天,Baccini公司已成為應用材料公司Baccini集團,以多項先進(jìn)技術(shù)引領(lǐng)業(yè)界的發(fā)展。

        基本的太陽(yáng)能絲網(wǎng)印刷

        印刷過(guò)程從硅片放置到印刷臺上開(kāi)始。非常精細的印刷絲網(wǎng)固定在網(wǎng)框上,放置在硅片上方;絲網(wǎng)封閉了某些區域而其它區域保持開(kāi)放,以便導電漿料能夠通過(guò)【圖2】。硅片和絲網(wǎng)的距離要嚴格地控制(稱(chēng)為印刷間隙)。由于正面需要更加纖細的金屬線(xiàn),因此用于正面印刷的絲網(wǎng)其網(wǎng)格通常比用于背面印刷的要細小得多。

      表2:印刷絲網(wǎng)上包含打開(kāi)和閉合的區域,通過(guò)打開(kāi)的區域,導電漿料可以被印刷到硅片上。

        把適量的漿料放置于絲網(wǎng)之上,用刮刀涂抹漿料,使其均勻填充于網(wǎng)孔之中。刮刀在移動(dòng)的過(guò)程中把漿料通過(guò)絲網(wǎng)網(wǎng)孔擠壓到硅片上【圖3】。這一過(guò)程的溫度,壓力,速度和其他變量都必須嚴格控制。

      表3:在絲網(wǎng)一端放置導電漿料,用刮刀在將漿料涂抹于絲網(wǎng),并從網(wǎng)孔中擠壓到硅片上。

        每次印刷步驟后,硅片被放入烘干爐,使導電漿料凝固。接著(zhù),硅片被送入另一個(gè)不同的印刷機,在其正面或背面印制更多的線(xiàn)路。所有印刷步驟完成后,將硅片放入高溫爐里燒結。

        硅片正面和背面的印刷

        每塊太陽(yáng)能電池的正面和背面都有通過(guò)絲網(wǎng)印刷淀積的導線(xiàn)【圖4】,它們的功能是不同的。正面的線(xiàn)路比背面的更細;有些制造商會(huì )先印刷背面的導電線(xiàn),然后將硅片翻過(guò)來(lái)再印刷正面的線(xiàn)路,從而最大程度地降低在加工過(guò)程中可能產(chǎn)生的損壞。在正面(面向太陽(yáng)的一面),大多數晶體硅太陽(yáng)能電池的設計都采用非常精細的電路(“手指線(xiàn)”)把有效區域采集到的光生電子傳遞到更大的采集導線(xiàn)——“母線(xiàn)”上,接著(zhù)再傳遞到組件的電路系統中。正面的手指線(xiàn)要比背面的線(xiàn)路細得多(窄到80μm)。正因為如此,正面的印刷步驟需要更高的精度和準確性。

      圖4:印刷后硅片正面會(huì )有大小不同的導線(xiàn),用來(lái)從有效區域采集電能。.
       
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