英國消息，2008年01月16日，英國威格斯公司(Victrex plc)宣布，基于VICTREX®PEEK®聚合材料的VICOTE涂料已被光電、半導體設備制造商擎邦國際科技工程股份有限公司(King Polytechnic Engineering Co., Ltd)所采用，被應用于制造2", 8", 12", 甚至更大的晶圓以及LCD面板的中大型旋轉噴涂/浸漬噴涂(SPIN/DIP)設備系列上。VICOTE 804 BLK憑借其優(yōu)異耐化學(xué)腐蝕性、耐高溫性與絕佳的附著(zhù)力，成功地取代了原有的PTFE涂層。VICOTE涂料可減少涂布機在顯影、蝕刻與去光阻制造過(guò)程中所產(chǎn)生的發(fā)塵量。這不但可延長(cháng)設備使用壽命，減少設備維修，更可大幅提升晶圓與LCD面板的生產(chǎn)效率與成品率。

在半導體或LCD制造過(guò)程中，光刻(photolithography)是最關(guān)鍵也是最困難的步驟。光阻劑、蝕刻液與顯影液需透過(guò)旋轉噴涂/浸漬噴涂方式，才可以在晶圓與玻璃基板面板上完成制造(fabrication)。面對強酸堿化學(xué)物質(zhì)與高溫等極為嚴苛的制造環(huán)境，設備的穩定與均勻性直接影響晶圓與LCD面板的成品率。

擎邦無(wú)塵室事業(yè)部廠(chǎng)長(cháng)黃可強表示：“從終端用戶(hù)的角度出發(fā)，采用VICOTE涂料可減少設備維修與停工時(shí)間，進(jìn)而提升晶圓與LCD面板的生產(chǎn)效率與成品率。之前所采用的PTFE在顯影、蝕刻與去光阻制造過(guò)程中，經(jīng)冷熱循環(huán)、受強酸堿化學(xué)物質(zhì)以及高溫環(huán)境所影響，PTFE涂層容易掉落，從而導致頻繁維修旋轉噴涂設備。但自從采用VICOTE涂料后，至今都還沒(méi)接到維修需求。目前用于制造8”以上晶圓與LCD面板的中大型旋轉噴涂/浸漬噴涂涂布機系列都已采用VICOTE804 BLK涂料。”

威格斯臺灣區經(jīng)理李自立指出：“隨著(zhù)半導體工業(yè)向更大晶圓尺寸、更高密度、更嚴苛的化學(xué)以及高溫加工生產(chǎn)環(huán)境發(fā)展，引進(jìn)先進(jìn)的材料和加工技術(shù)已成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。VICOTE涂料兼具出色的耐磨性與極佳的基材附著(zhù)力及耐化學(xué)腐蝕性，可大幅度減少顆粒產(chǎn)生量，并能承受大部分的化學(xué)物質(zhì)侵蝕。制造設備的關(guān)鍵性零件通過(guò)采用VICOTE涂料，可延長(cháng)設備的使用壽命與減少設備維修需求。通過(guò)不同的產(chǎn)品供應形式(粉末涂料與分散液涂料)，可為終端用戶(hù)提供靈活且符合經(jīng)濟效益的應用模式。這次與擎邦的合作也進(jìn)一步證明VICTREX PEEK是全球半導體產(chǎn)業(yè)最理想的材料選擇。”

VICOTE涂料是基于VICTREX PEEK 聚合材料的新型涂料，分為粉末與分散液涂料兩種，提供優(yōu)異的抗刮傷、耐磨性、耐高溫、高強度和耐久性。環(huán)保的VICOTE涂料的研發(fā)成功填補了當今涂料技術(shù)領(lǐng)域在性能上的不足。無(wú)論是用于工業(yè)、汽車(chē)、食品加工、半導體、電子或者醫藥領(lǐng)域，VICOTE涂料都是工程師們的理想選擇�？蓭椭�工程師在應用過(guò)程中提升產(chǎn)品的耐摩擦性，延長(cháng)設備中涂裝組件的使用壽命。VICOTE涂料可用靜電或傳統的分散液技術(shù)進(jìn)行涂裝。